豊橋技科大 中村研究室・Lim研究室

装置紹介

試料作製機器

RF-マグネトロンスパッタリング装置
RF-マグネトロンスパッタリング装置_1 RF-マグネトロンスパッタリング装置_2
磁性ガーネット膜およびそれを含んだ種々の多層膜を形成するための真空成膜装置です。同様の装置を2台有しています。
パルスレーザー蒸着(PLD)装置
PLD装置
エキシマレーザーを用いてターゲットを蒸発させ、酸化物薄膜を成膜する装置です。
放電プラズマ焼結(SPS)装置
放電プラズマ焼結(SPS)装置
カーボン製のダイの中に酸化物粉末を入れ、パルス電流を流して焼結させるための装置です。
カンタル管状炉
カンタル管状炉
管状の電気炉で、結晶化していない磁性ガーネット薄膜の結晶化熱処理やMOD法における膜の仮焼などに用いています。
カンタル箱形電気炉
電気炉
1150℃まで上げられる箱形電気炉です。酸化物粉末の仮焼・焼結を行う電気炉です。

測定機器

触針段差計
触針段差計
作製した薄膜の膜厚などを測定する際に使用します。
誘電率測定装置(東陽テクニカ FCE-3)
誘電率測定装置
磁気光学特性測定装置
磁気光学特性測定装置
スピンゼーベック測定系
スピンゼーベック測定系

光学系

ピコ秒レーザー(532nm)
ピコ秒レーザー(532nm)
コリニア干渉光学系
コリニア光学系
二光束干渉光学系
二光束光学系
走査型磁気光学顕微鏡
走査型磁気光学顕微鏡
偏光顕微鏡
偏光顕微鏡